2023年3月6日，自然科学基金委信息科学部在北京召开国家重大科研仪器研制项目（部门推荐）“半导体器件氧化层电缺陷演化原位分析系统”中期检查会议。自然科学基金委信息科学部常务副主任刘克、北京大学校长龚旗煌出席会议并致辞。开幕式由信息科学部副主任何杰主持。
刘克副主任在致辞中指出，重大科研仪器研制项目面向世界科学前沿和国家重大需求，以促进科学发展、探索自然规律和开拓研究领域为导向，支持原创性科研仪器研制，为基础研究提供更新更强的手段和工具，全面提升我国的原始创新能力。他表示，希望专家组认真考察项目，提出建设性意见。同时也请财务专家在经费使用方面进行把关，帮助项目组顺利完成仪器研制。
龚旗煌校长代表北京大学向与会专家表示热烈欢迎，对自然科学基金委一直以来对北京大学的信任和支持表示感谢，他希望各位专家对项目的实施提出宝贵意见和建议，北京大学会一如既往地为项目研发提供全方位支持和保障。
专家组审阅了项目中期检查材料，听取了项目组关于仪器研制工作进展情况的汇报和项目监理组关于监理工作情况的报告，实地考察了仪器研制现场，最终形成了中期检查意见。
项目中期检查专家组、项目监理组、项目组、项目依托单位管理部门和自然科学基金委信息科学部、计划与政策局相关工作人员参加会议。